中圖儀器VT6000系列激光共聚焦3D顯微鏡是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器,。它基于光學(xué)共軛共焦原理,，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像,，從而進(jìn)行分析的精密光學(xué)儀器,，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度,、凹坑瑕疵,、溝槽等參數(shù)。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能,；

(2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量；

(3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件,，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能,；

(4)設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

(6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

功能特點(diǎn)

1、測(cè)量模式多樣

單區(qū)域,、多區(qū)域,、拼接、自動(dòng)測(cè)量等多種測(cè)量模式可選擇,，適應(yīng)多種現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用環(huán)境,；

2、雙重防撞保護(hù)功能

Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器,、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能,，雙重保護(hù)；

3,、分析功能豐富

3D：表面粗糙度,、平整度、孔洞體積,、幾何曲面,、紋理方向、PSD等分析,；

2D：剖面粗糙度、幾何輪廓測(cè)量,、頻率,、孔洞體積、Abbott參數(shù)等分析,。

激光共聚焦3D顯微鏡能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細(xì)節(jié),，顯示出精細(xì)的細(xì)節(jié)圖像。它具有直觀測(cè)量的特點(diǎn),，能夠有效提高工作效率,，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù)。借助共聚焦顯微鏡,，能有效提高工作效率,，實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的操作。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),，對(duì)大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果,，在滿足精度的情況下使用場(chǎng)景更具有兼容性。

應(yīng)用場(chǎng)景

1,、鐳射槽

測(cè)量晶圓上激光鐳射槽的深度：半導(dǎo)體后道制造中,，在將晶圓分割成一片片的小芯片前,，需要對(duì)晶圓進(jìn)行橫縱方向的切割，為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失,，會(huì)先采用激光切割機(jī)在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導(dǎo)槽,，在工藝上需要對(duì)引導(dǎo)槽的槽型深寬尺寸進(jìn)行檢測(cè),。

2、光伏

在太陽能電池制作工程中,，柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導(dǎo)電能力,，直接影響著太陽能電池的性能。VT6000光伏檢測(cè)儀器3D顯微鏡輪廓儀可以對(duì)柵線進(jìn)行快速檢測(cè),。此外,，太陽能電池制作過程中，制絨作為關(guān)鍵核心工藝,，金字塔結(jié)構(gòu)的質(zhì)量影像減反射焰光效果,，是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素。共聚焦顯微鏡具有納米級(jí)別的縱向分辨能力,，能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建,。

3、其他

部分技術(shù)指標(biāo)